該技術的主要原理是：利用高能光波照射在污染物上，使其直接參與光解反應；或者以此光波激發半導體催化劑，使其具備氧化還原反應的能力，而達到氧化降解污染物的目的；或者通過植物吸收高能光子后，產生生物效應和化學效應，而使有機物降解。光催化法降解環境污染物的特點是設備簡單，可在常溫、常壓條件下運行，有機物降解快速、徹底、無二次污染。100mg/l以下的幾類染料廢水，在常溫、常壓下，用低壓汞燈作光源，經20分鐘運行，降解率為95-100%；對含 0.817mg/kg的 六氯化苯及0.911mg/kg的五氯硝基苯的人參農藥殘留，經4小時的運行降解，降解率分別為93%和97%。
現在廢氣處理工藝應用繁多，低溫等離子和UV光解已是很普遍的廢氣處理工藝，下面簡單介紹一下：
技術介紹-低溫等離子，低溫等離子體降解污染物是利用這些高能電子、離子、原子和自由基等活性粒子與廢氣中的污染物作用，使污染物分子在極短的時間內發生分解，并發生后續的各種反應以達到分解污染物的目的。
低溫等離子體廢氣處理成套設備和技術作為一種新型的氣態污染物的治理技術是一個集物理學、化學、生物學和環境科學于一體的交叉綜合性電子化學技術，由于能很容易使污染物分子高效分解且處理能耗低等特點，是目前國內外大氣污染治理富有前景、行之有效的技術方法之一，其使用和推廣前景廣闊，為工業領域VOC類有機廢氣及惡臭氣體的治理開辟了一條新的思路。
技術介紹-UV光解，產品利用特制的高能高臭氧UV紫外線光束照射工業廢氣，裂解惡臭/工業廢氣如：氨、三甲胺、硫化氫、甲硫氫、甲硫醇、甲硫醚、二甲二硫、二硫化碳和苯乙烯，硫化物H2S、VOC類，苯、甲苯、二甲苯等的分子鏈結構，使有機或無機高分子惡臭化合物分子鏈，在高能紫外線光束照射下，降解轉變成低分子化合物，如CO2、H2O等。
目前，廢氣處理的主要方法有燃燒法、吸收法、吸附法、生物法、光催化法、高級氧化技術,低溫等離子法等。
燃燒法，燃燒法是基于廢氣中有機化合物可以燃燒氧化的特性，其目的是通過燃燒將廢氣中可氧化的組分轉化為無害物質，在廢氣中含純碳氫化合物的情況下，即轉化為co2和h2o。燃燒法處理有機廢氣的方法主要為：直接燃燒法、熱力燃燒法、蓄熱式燃燒法和催化燃燒法。
吸收法，吸收凈化法是廢氣治理中一種重要的常用的方法，它是利用廢氣中各混合組分在選定的吸收劑中溶解度的不同，或其中一種或多種組分與吸收劑中活性組分發生化學反應，達到將有害物從廢氣中分離出來、凈化廢氣目的的一種方法。很多工業廢氣可用吸收凈化法治理,如含SO2、H2S、HF、鹵代烴等廢氣以及含惡臭物廢氣。
吸附法，吸附法屬于一種傳質過程，物質內部的分子和周圍分子有互相吸引的引力，但物質表面的分子，其中相對物質外部的作用力沒有充分發揮，所以液體或固體物質的表面可以吸附其他的液體或氣體，尤其是表面面積很大的情況下，這種吸附力能產生很大的作用，所以工業上經常利用大面積的物質進行吸附，使其中的污染物質被吸著于固體表面而分離的方法。吸附可分為物理吸附、化學吸附和生物吸附等。物理吸附劑和吸附質之間在分子間力作用下產生的。不產生化學變化。而化學吸附則是吸附劑和吸附質之間發生化學反應，生成化學鍵引起的吸附，因此化學吸附選擇性較強。另外，在生物作用下也可以產生物吸附。
吸附再生法，低溫加熱再生法。對于吸附沸點較低的低分子碳氫化合物和芳香族有機物的飽和炭，一般用 100～200℃蒸汽吹脫使炭再生，再生可在吸附塔內進行。脫附后的有機物蒸汽經冷凝后可回收利用。常用于氣體吸附的活性炭再生。
生物法，生物凈化技術的實質是附著在濾料介質中的微生物在適宜的環境條件下，利用廢氣中的有機成分作為碳源和能源，維持其生命活動,并將有機物分解為二氧化碳、水、無機鹽和生物質等無害的物質。 生物法是一種經濟有效環境友好的VOCs治理方法，主要適用于低濃度有機廢氣的治理。
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