光刻機重復定位精度如何測？

一、光刻機重復定位精度如何測？

光刻機重復定位精度的測量一般沒有簡單的方法，我們一般采用的是實測方法，其實主要的檢測目標就是振鏡的重復定位精度，不過目前國內的振鏡其在性能參數上都有明顯的標識，但是有很多都不是很準確的標識。

重復定位精度就是第一次打標走的位置和第二次或者之后打標走的位置，移動了距離的差值，這個值一般是在0.01MM以內，僅有一個絲，一般是沒有肉眼可看到的，只有借助于放大鏡來觀看了。

在這里我先提一下的是，在以前介紹里我講了如何檢測CO2激光鐳射機的定位精度，其檢測的方法如下：為了檢測皮帶的反向間隙，方法：畫3條平行的橫線，將三條線調整紅色為首，綠色為中，粉色為后，并分別對齊居中。使用激光鐳射機使用盡可能小一點的功率，先切紅色，再切綠色，最后切粉色，如果沒有錯位，說明重復定位精度比較好，如果有錯位需要調整皮帶的松緊度。

二、平行度的測量工具有哪些

測量平行度的量具有卡尺、千分尺（測量對邊距離尺寸）、百分表（把工件放在精密測量平板上用百分表測量）。

三、請問如何確定兩根導軌安裝的平面度和平行度，用什么儀器或者方法測量？

1、平行度指兩平面或者兩直線來平行的程度，指一平面（邊）相對于另一直線（邊）平行的誤差最大允許值。平面度是指基片具有的宏觀凹凸高度相對理想平面的偏差公差帶是距離為公差值t的兩平行平面之間的區域。

2、平面度

在機械幾何形狀誤差測量中的解釋：平面度是指基片具有的宏觀凹凸高度相對理想平面的偏差。公差帶是距離為公差值t的兩平行平面之間的區域。平面度屬于形位誤差中的形狀誤差。

3、平源行度評價直線之間、平面之間或直線與平面之間的平行狀態。其中一個直線或平面是評zd價基準，而直線可以是被測樣品的直線部分或直線運動軌跡，平面可以是被測樣品的平面部分或運動軌跡形成的平面。

四、測量尺寸的儀器有哪些？？

尺寸測量儀器有很多很多，最常見的就是游標卡尺了，相信人都有接觸過。

游標卡尺

除了游標卡尺，三坐標測量機在各工廠也是非常常見的尺寸測量儀器。

三坐標測量機

除了三坐標機，輪廓儀，投影儀，工具顯微鏡、立式光學計、工具顯微鏡、測長機等也是很常見的尺寸測量儀器。

輪廓儀

測長機

除了以上常見的尺寸測量儀器，近些年又出現了一種新型的測量儀器~閃測儀，也叫一鍵式測量儀和圖像尺寸測量儀，VX3000系列閃測儀采用雙遠心高分辨率光學鏡頭，結合高精度圖像分析算法，并融入一鍵閃測原理。CNC模式下，只需按下啟動鍵，儀器即可根據工件的形狀自動定位測量對象、匹配模板、測量評價、報表生成，真正實現一鍵式快速精準測量。

閃測儀解決了傳統測量對象需要定位或原點定位費時、批量測量操作時間長、不同測量人員導致測量結果不同、數據統計管理繁雜等弊端，因為在械、電子、模具、注塑、五金、橡膠、低壓電器、磁性材料、精密沖壓、接插件、連接器、端子、手機、家電、印刷電路板、醫療器械、鐘表、刀具等領域大展身手。

希望能夠解決您的疑惑，有任何問題歡迎追問。

在倉庫管理的時候，經常要對貨物進行測量，比如：稱重、掃碼，但有時需要測量貨物的長寬高等尺寸信息，這樣人工測量就很麻煩，也容易出錯，那么有什么好的辦法可以快速測量出貨物的尺寸信息呢？

工具/原料

Goodscan 200C 智能貨物測量系統

待測包裹

方法/步驟

Goodscan200C是中小型貨物體積的集稱重體積測量掃碼拍照于一體機智能測量設備，它的優勢在于尺寸測量精度和稱重精度都很高，測量范圍5*5*5～60*60*60cm ，尺寸平均精度達到 3mm，稱重精度為10g。

主要功能：

稱重、量方、拍照、掃碼、數據/圖片存儲和上傳、提供數據接口，對接系統

適用場景：

尺寸測量、包裹稱重、手動掃碼、運費計算、拍照存檔

詳細參數：

名稱：異方科技Goodscan 200C量方稱重一體機

測量原理：3D視覺測量

量方傳感器：異方科技深度傳感器

測量范圍：5*5*5～60*60*60cm，精度±5mm;

平均精度：±3mm

測量速度：1 秒/件

數據輸出：Excel/Http/TCP/串口

稱重量程：小于 50kg

稱重精度：±10g

稱重輸出接口：RS232

條碼攝像機分辨率：1000W/600W

條碼鏡頭：12mm/16mm

條碼解析度：10mils/0.254mm

條碼類型：Code128/code39/EAN/QR code（二維碼）

條碼解析速度：100ms

條碼槍可掃條碼：一維條碼/二維碼

材質：不銹鋼

存儲功能：64G；支持存儲每張貨物照片

操作系統：Win7 系統/Win10 系統

工作電壓：220V UPS鋰電池，12V，100A/H,8h

自動測量：支持

數據上傳：支持

本地存儲：支持

照片存檔：支持

系統對接：支持

二次開發：支持

自動掃碼：支持

費用計算：支持

一票多件：支持

多國語言：中英切換

弱光測量：支持（無光)

工作環境溫度：-5℃-50℃

工作環境濕度：0-90%

使用方法：

開啟設備，將待測包裹放在設備的測量區域，大概1秒就會有燈光或者聲音提示，這時就完成了一次測量，可以取下包裹，放入下一個包裹進行測量。測量的結果會顯示在設備顯示屏上面，左邊顯示的是圖片，右邊顯示的是測量的數據，有長寬高、體積、重量、條碼等信息。還可以將數據保存至本地，也可以直接將數據上傳至云端。

注意事項

測量是物體可以是任意形狀

測量時物體可以隨意擺放

1.標準量具 指用作測量或檢定標準的量具。如量塊、多面棱體、表面粗糙度比較樣塊等。

2通用量具

也稱萬能量具。一般指由量具廠統一制造的通用性量具。如直尺、平板、角度塊、卡尺等。

3、專用量具

也或稱非標量具。指專門為檢測工件某一技術參數而設計制造的量具。如內外溝槽卡尺、鋼絲繩卡尺、步距規等量具是以固定形式復現量值的測量器具，特點如下

1．本身直接復現了單位量值，即量具的標稱值就是單位量值的實際大小，如量塊本身就復現了長度量的單位。

2．在結構上一般沒有測量機構，沒有指示器或運動著的元部件。如量塊只是復現單位量值的一個實物。

3．由于沒有測量機構，如不依賴其他配用的測量器具，就不能直接測出被測量值。例如量塊要配用干涉儀、光學計。因此它是一種被動式測量器具.

常用的量具

游標卡尺

千分尺

百分表

塞尺

千分表

平板

外徑千分尺

標尺

長度測量儀器 米尺、毫米刻度尺、螺旋測微器、游標卡尺，其中作為代表的儀器是米尺。

我們這里有激光測距儀方便實用。